Chất bán dẫn được làm bằng vật liệu gì?Mục tiêu phún xạ molypden cho chất bán dẫn

Ngày nay, mục tiêu phún xạ được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác nhau, từ công nghiệp bán dẫn đến lắng đọng màng mỏng của các vật liệu khác nhau trong xử lý mạch tích hợp.Phún xạ là một kỹ thuật đã được thiết lập để lắng các màng mỏng của nhiều loại vật liệu khác nhau lên các chất nền với nhiều hình dạng và kích thước khác nhau.Để có được các đặc tính mong muốn trong màng lắng cặn, vật liệu chế tạo và quy trình được sử dụng để chế tạo mục tiêu phún xạ là rất quan trọng.Dưới đây chúng ta xem xét các mục tiêu phún xạ molypden cho chất bán dẫn.

Ngoài các chỉ tiêu kim loại tinh khiết như vonfram, molypden, niobi, titan và silicon, còn có các chỉ tiêu hợp kim như vonfram, molypden, titan, silicon và tantali, cũng như các hợp chất như oxit hoặc nitrit.Quá trình xác định vật liệu cũng quan trọng như các thông số vận hành lắng đọng mà các kỹ sư và nhà khoa học hoàn thiện trong quá trình sơn phủ.

So với các phương pháp lắng đọng khác, màng phún xạ có độ bám dính trên bề mặt tốt hơn, và các vật liệu có nhiệt độ nóng chảy cực cao như molypden và vonfram cũng dễ dàng bị bắn tung tóe.Ngoài ra, sự phun trào có thể được thực hiện từ trên xuống dưới, trong khi sự bay hơi chỉ có thể được thực hiện từ dưới lên trên.

Các mục tiêu phún xạ thường có hình tròn hoặc hình chữ nhật, nhưng các hình dạng khác cũng có sẵn, bao gồm cả thiết kế hình vuông và hình tam giác.Chất nền là đối tượng được phủ, có thể bao gồm các tấm bán dẫn, pin mặt trời, các phần tử quang học hoặc nhiều khả năng khác.Độ dày của lớp phủ thường nằm trong khoảng từ angstrom đến micrômet.Màng có thể là một vật liệu đơn lẻ hoặc nhiều vật liệu trong cấu trúc nhiều lớp.

Là một kim loại chịu lửa với nhiều mục đích sử dụng, molypden có tính chất cơ học tuyệt vời, độ giãn nở thấp, độ dẫn nhiệt cao và độ dẫn điện cực cao ở nhiệt độ cao.Là một mục tiêu phún xạ, có nhiều cách kết hợp khác nhau, chẳng hạn như mục tiêu molypden tinh khiết, mục tiêu titan molypden, mục tiêu molypden tantali, mục tiêu hợp kim molypden (chẳng hạn như tấm TZM).

Mục tiêu phún xạ molypden có các đặc điểm của độ tinh khiết cao, mật độ cao, hạt mịn và đồng đều, để đạt được hiệu quả phún xạ cực cao, độ dày màng đồng đều và bề mặt khắc nhẵn trong quá trình phún xạ.